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惠州凈化車間

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十萬級半導體無塵車間完工

2020-05-04 17:14:32

此項目為十萬級半導體無塵車間

一、設計原則:1.合理投資:符合經濟節約的原則,又滿足各生產車間的工藝要求及對溫度、濕度、潔凈度、壓差、照度、抗震及噪聲等潔凈環境的要求;

潔凈車間

2.經濟運行:考慮節約能源、運行可靠、維護簡單,減少運行及維護費用;

3.安全可靠:潔凈車間級別高、投入大、運行費用昂貴,因此給生產提供安全可靠的生產環境是至關重要的,要考慮到工藝的更新;

4.技術先進:采用先進的技術及工藝可以更好的達到要求及更好的適應生產的需要,也有利于節約能源;

5.靈活性:要考慮系統的工藝變更等因素對系統進行靈活的調整。

二、凈化原理:潔凈度的實現是通過布置在車間上的FFU高效過濾送風單元過濾,足夠的換氣次數來實現的,新風采用初效過濾后送入車間。另外為保證潔凈室不被外界污染,潔凈車間要維護一定的正壓,其相對非凈化區的靜壓差≥10Pa,正壓是通過控制新風的供給量來保證的。三、空調風系統:潔凈車間的空氣循環是通過設置在吊頂內的空調機+末端FFU高效送風單元完成的。其氣流組織采用上送下側回。風系統只設回風管,回風管通過室內回風豎井將室內空氣輸送至FFU回風口來實現回風。

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